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在半导体行业,井式坩埚炉作为关键设备,其性能直接影响着产品的质量。这种炉子,不仅能够煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物,还能对半导体晶片进行退火或扩散处理。今天,我们就来详细了解下这款高效、节能的井式坩埚炉。
首先,井式坩埚炉的加热元件采用的是进口含钼电阻丝或者硅碳棒,保证了加热效率。双层壳体结构和智能化程序控温系统,使得炉膛温度均衡、表面温度低。此外,炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。
在应用方面,井式坩埚炉主要用于高校、科研院所、工矿企业进行高纯度化合物的煅烧、半导体晶片的退火或扩散处理。它还能用于烘烧或烧结陶瓷材料等。
值得一提的是,这款炉子集控制系统与炉膛一体。保温材料采用整体真空吸附成型,程控镶嵌进口电阻丝。超大口径的石英炉腔和真空密封法兰系统,可在流动气氛和真空状态下快速加热样品。
在技术层面,井式坩埚炉具有以下特点:
1. 发热元件采用高品质钼铁铬铝合金,可加热到1200℃;
2. 高精度不锈钢针阀和真空表及真空法兰可直接使用;
3. 内置30段可编程精密数字温度控制器可控制升降温速率。
总的来说,井式坩埚炉以其高效、节能、精准的特点,成为了半导体行业的重要设备。随着技术的不断发展,相信这款设备会在更多领域发挥出更大的作用。
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